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來(lái)源:http://konuaer.com 作者:konuaer 2012年05月15
聲表面濾波器的應(yīng)用及發(fā)展
 1 前言
  聲表面濾波器―SAW(SurfaceAcousticWave)就是在壓電基片材料表面產(chǎn)生和傳播、且振幅隨深入基片材料的深度增加而迅速減少的彈性波。SAW濾波器的基本結(jié)構(gòu)是在具有壓電特性的基片材料拋光面上制作兩個(gè)聲電換能器――叉指換能器(IDT)。它采用半導(dǎo)體集成電路的平面工藝,在壓電基片表面蒸鍍一定厚度的鋁膜,把設(shè)計(jì)好的兩個(gè)IDT的掩膜圖案,利用光刻方法沉積在基片表面,分別作為輸入換能器和輸出換能器。其工作原理是輸入換能器將電信號(hào)變成聲信號(hào),沿晶體表面?zhèn)鞑?,輸出換能器再將接收到的聲信號(hào)變成電信號(hào)輸出。

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